2612 超精密非球面研削に関する研究(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
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概要
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At present, aspherical parts are installed in various optical instruments. To improve the resolution of the optical instrument, higher form accuracy is required for aspherical parts. To meet this demand, an arc envelope grinding method has been developed. In the arc envelope grinding process, a spherical shaped grinding wheel is used and the form error of the cross-sectional profile of the grinding wheel is transcribed to the workpiece profile. Therefore, the grinding wheel should be trued previously. However, the form error of the grinding wheel cannot be removed perfectly. To reduce the affect of the form error of the grinding wheel, compensation grinding must be carried out. In this research, the wheel path of a new compensation grinding method is proposed. Tests using the new compensation grinding method demonstrate the reduction in the form error of aspherical parts.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
吉原 信人
東北大学大学院工学研究科
-
厨川 常元
東北大学
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノ加工分野
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吉原 信人
東北大・工
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厨川 常元
東北大 工
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吉原 信人
東北大学
-
吉原 信人
東北大・院
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厨川 常元
東北大学大学院工学研究科
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