E35 シリコン切削における加工温度解析および工具摩耗メカニズムの考察(OS-11 超精密加工(2))
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The mechanism of tool wear in machining of single-crystal silicon was studied because the service life of a diamond tool is normally very short. The cutting edge temperature was estimated by using the finite element method simulation. The tool wear mechanism might be related to the diamond deterioration by chemical reaction rather than by mechanical wear.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-11-21
著者
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
小寺 直
三菱電機(株)生産技術研究所
-
小寺 直
三菱電機(株)
-
閻 紀旺
東北大学大学院工学研究科
-
厨川 常元
東北大学
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノ加工分野
-
閻 紀旺
東北大学工学部
-
太田 努
三菱電機(株)
-
厨川 常元
東北大 工
-
矢島 史勇馬
三菱電機(株)
-
閻 紀旺
東北大学
関連論文
- レーザによる小径熱可塑性レジンボンド砥石の砥粒保持力補修に関する研究
- 機能時に歯に加わる圧縮力および引張力の生体内三次元測定
- オーバーデンチャー支台インプラント荷重の三次元解析システムの開発とその生体応用
- 18. 歯に加わる荷重の生体内三次元測定(平成16年度東北支部大会抄録, 支部大会抄録)
- 1242 パウダージェットデポジッション法による機能性酸化物の成膜とその物性(J11-1 粒子付着・成膜プロセスと膜の機械的特性(1) コールドスプレー皮膜の諸特性,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- NiPめっきを施した鉄鋼金型のガラスレンズ成形への応用
- ナノ微細加工技術による齲蝕治療
- パウダージェットデポジション法による歯質上へのHAp膜形成とその接着強度
- 電着ダイヤモンド砥石による超音波援用マイクロ研削に関する研究 : 第2報 : 砥石端面による工作物除去に及ぼす超音波振動の影響
- 超高速研削切断ブレードの開発第2報 超高速研削切断に関する研究
- 超高速研削切断ブレードの応力解析 : 第1報超高速研削切断に関する研究
- 超高速研削切断における研削抵抗と研削熱に関する一考察
- 熱可塑性レジンボンド砥石の研削性能
- 熱可塑性レジンボンド砥石の開発とレーザ光照射による砥粒突き出し量の制御
- パウダージェット加工がもたらすイノベーション : 材料除去から付着まで
- レーザによる小径熱可塑性レジンボンド砥石の砥粒保持力補修に関する研究
- 軸対称非球面の超精密研削 : オンマシン計測システムを非球面型の研削加工に適用した場合
- 極微粒ダイヤモンドホイールによる高速度鋼の円筒鏡面研削
- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究 (第3報) : 斜軸研削における非球面(凹面)の微小化の検討
- Effect of tool segmentation in ultrasonic machining studies of ultrasonic die sinking
- 超音波加工における分割工具の加工特性--第1報:超音波穴あけ加工
- 超音波加工における分割工具の加工特性(第1報)超音波穴あけ加工
- 工具断面形状比の効果について : 超音波型彫り加工
- 414 超音波加工における工具断面形状の効果
- 工具・工作物間におけるキャビテーションの発生と対策 : 超音波加工に関する研究(第3報)
- 超音波加工の工具断面形状の砥粒挙動
- 220 超音波加工に対するスラリの影響について
- 514 超音波加工における砥粒の挙動(機械工作・生産工学)
- 超音波型彫り加工における加工孔中心部の突起形成と工具・工作物間の砥粒の挙動 : 超音波加工に関する研究(第2報)
- SiCの超音波型彫り加工の砥粒挙動と突起高さについて
- 砥石・工作物接触弧内における研削力の変化
- 微小空間におけるナノ・マイクロ粒子ジェットの静電加速特性(非ニュートン性,機能性を示す複雑流体の流動と応用)
- 静電加速による微粒子マイクロジェットの高性能化
- 機械工学年鑑(1997年) : 加工学・加工機器
- パラレル研削法による非球面金型加工に関する研究(続報) : 加工誤差に及ぼす砥石設定誤差の影響とドレッシング条件の検討
- 軸対称非球面研削における研削模様について
- 調整車を用いないセンタレス研削法の開発 : 工作物の幾何学的支持条件が加工精度へ及ぼす影響
- 単結晶フッ化カルシウムの超精密切削加工
- ハイレシプロ成形研削面における垂直縞の発生機構について(続報)
- ツルーイング・ドレッシングの研削性能への影響第2報 : 鏡面研削加工のための精密ツルーイング・ドレッシングに関する研究
- セラミックスの研削仕上面粗さに及ぼす延性・ぜい性挙動の影響
- 209 AJM による微細加工
- 202 パラレル研削法によるガラスモールド用非球面金型の加工
- interview 東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻 教授 厨川常元氏+(株)ソディック 営業技術本部 営業技術部 部長 澤崎隆氏 今年[2008年]のワークショップは「エコ」、「超精密」をキーワードとした独自の視点がテーマです
- マイクロ研削加工, マイクロ研磨加工
- 高精度マイクロ放電加工の研究(第3報) : 脱イオン水を用いたマイクロ放電加工の加工メカニズム解明
- 16・3 研削・研磨加工(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 高精度マイクロ放電加工の研究(第2報) : 次世代マイクロ放電加工機の開発
- 高精度マイクロ放電加工の研究(第1報) : 加工単位の微細化におけるRC回路構成要素の影響の把握
- ナノ精度機械加工専門委員会活動報告(5.3 専門委員会・分科会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- ナノ精度マイクロ機械加工の現状と将来(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
- 脱イオン水によるマイクロ放電加工の研究
- E35 シリコン切削における加工温度解析および工具摩耗メカニズムの考察(OS-11 超精密加工(2))
- 単結晶ゲルマニウムの超精密・高能率加工特性
- ELID研削システム搭載デスクトップマシンツールにおける非球面レンズの開発
- 超音波振動を援用した小径内面の精密研削に関する研究 : 超音波振動による研削抵抗低減のメカニズム
- 2616 超音波援用研削に関する研究 : CBN小径砥石のツルーイングにおける超音波振動の効果(S74-2 砥粒加工(2),S74 砥粒加工)
- 電着ダイヤモンド砥石による超音波援用マイクロ研削に関する研究
- 211 電気粘性流体援用マイクロ超音波加工に関する研究(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
- 2612 超精密非球面研削に関する研究(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- 534 窒化アルミニウムの超精密平面ホーニングに関する研究(OS11 研削・砥粒加工)
- 極微粒ダイヤモンドホイール用ツルア砥石の開発 : 第1報:鏡面研削加工のための精密ツルーイング・ドレッシングに関する研究
- 砥粒切削方向が研削面粗さに及ぼす影響について : —非軸対称非球面研削に関する研究—
- アブレーションと加熱加工による熱可塑性レジンボンド砥石のレーザトリートメントに関する研究 : —マルチモード光ファイバによるパルスレーザ光の直接照射—
- 小型水晶圧電式荷重センサによる部分床義歯支台歯の荷重測定
- 1. 小型水晶圧電式荷重センサの歯冠部荷重測定への応用 : センサの校正について(第28回学術大会)
- 小型水晶圧電式荷物センサの歯冠部荷物測定への応用 : センサの校正について
- 電気粘性流体が拓く新しいマイクロ機械加工の世界 : 電気粘性流体援用マイクロ非球面研磨 & 電気粘性流体援用マイクロ超音波加工
- 電気粘性流体援用研磨 (特集欄 超精密マイクロ・ナノ機械加工) -- (研磨加工)
- 噴射加工による機能性インタフェース創成と制御
- 噴射加工がもたらす歯科治療のイノベーション
- 超安定・超精密非球面研削加工の提案と光学素子創成の高精度化 (特集:高精度仕上げの最前線!)
- セラミックスの超精密平面ホーニング加工
- M^4プロセスの新しい世界を拓く : ナノ精度サブミリ機械加工(ナノ精度機械加工専門委員会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- アブレイシブジェット加工 (特集 先端技術を支える表面創成技術--特集「砥粒加工」)
- 先端噴射加工
- 超音波加工における加工断面形状と砥粒挙動 (特集:超音波を使用したさまざまな加工)
- 21世紀に向けた砥粒加工の技術課題 (特集2 砥粒加工)
- 環境に優しい超臨界流体技術 : 中核的研究拠点をめざして(精密工学の最前線)
- 超音波遊離砥粒加工装置と加工特性 (超音波除去加工技術の基礎と応用(2)超音波加工装置の基礎と遊離砥粒加工)
- 円弧包絡研削法による非球面ミラ-の超精密研削 (特集:ス-パ-表面をめざす次世代超精密加工技術)
- 砥粒加工と噴流工学の接点(砥粒加工学会とマイクロAJM加工)
- 被研削性に及ぼす砥石周速の影響について : 超高速研削に関する研究(第3報)
- 軟鋼研削時の砥石異常摩擦の減少効果について : 超高速研削に関する研究 ( 第1報 )
- セラミックス研削における延性・ぜい性遷移域の仕上面粗さ
- セラミックス研削におけるダイヤモンド砥粒切れ刃の磨耗過程
- 431 超高速研削切断用ホイールの開発(OS12 研削・砥粒加工)
- 超高速研削切断ホイールの開発
- 金型材の電極レスELID研削(ELIDIII)特性
- 233 非球面研削における研削条件の影響 : 超精密研削面のナノトポグラフィーに関する研究(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
- ハイレシプロ成形研削面における垂直縞の発生機構について
- ナノ精度機械加工による機能性インターフェース創成を目指して
- アブレイシブジェット加工の加工特性
- 高硬度鋼材研削におけるWA/SG/cBNホイールの研削性能
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 調整車を用いないセンタレス研削法の開発 : 実験装置の試作と二, 三の研削テスト
- パラレル研削法による非球面金型加工に関する研究
- センタレスインフィード研削における調整砥石の偏摩耗と加工精度への影響(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 直線包絡法による単結晶シリコン製大口径非球面レンズの超精密切削
- 単結晶シリコンのダイヤモンド切削に及ぼす工具摩耗の影響(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)