小寺 直 | 三菱電機(株)生産技術研究所
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概要
関連著者
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小寺 直
三菱電機(株)生産技術研究所
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小寺 直
三菱電機(株)
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三菱電機(株)LSI技術開発センター
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著作論文
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- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究 : 斜軸研削法によるマイクロ非球面の鏡面研削の可能性検証
- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究(第3報) -砥石送り速度制御による表面粗さの改善-
- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究
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- 単結晶ゲルマニウムの超精密・高能率加工特性
- 非球面形状の機上測定システムの開発
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- SR用軸外し回転楕円体ミラーの超精密加工 : 研削加工による形状創成
- 磁気援用研磨に関する研究(第2報) : 研磨量分布に与える磁場分布の影響
- 磁気援用研磨に関する研究 : 球面形状への適用
- LSIデバイスの平坦化(CMP)におけるパターン依存性の検討
- トレンチ分離CMPのパターン依存性の検討