坂井 裕一 | 三菱電機(株)ulsi開発研究所

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• 長谷川 森

  三菱電機(株)生産技術センター

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著作論文

• カーボンナノチューブ共析金メッキ膜を接点に用いたRF-MEMSスイッチ
• LSIデバイスの平坦化(CMP)におけるパターン依存性の検討

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