LSIデバイスの平坦化(CMP)におけるパターン依存性の検討
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概要
著者
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小寺 直
三菱電機(株)生産技術研究所
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千葉原 宏幸
三菱電機(株) ULSI 技術開発センター
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小寺 直
三菱電機(株)
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小寺 直
三菱電機(株)生産技術センター
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坂井 裕一
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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林出 吉生
三菱電機(株)ULSI技術開発センター LSIプロセス開発部超清浄開発グループ
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林出 吉生
三菱電機(株)lsi技術開発センター
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林出 吉生
三菱電機 (株) Lsi 研究所
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佐々木 孝典
三菱電機(株)半導体基盤技術統括部
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坂井 裕一
三菱電機(株)ulsi開発研究所
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千葉原 宏幸
三菱電機(株)ulsi開発研究所
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林出 吉生
三菱電機(株)ulsi開発研究所
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長谷川 森
三菱電機(株)生産技術センター
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