磁気援用研磨に関する研究(第2報) : 研磨量分布に与える磁場分布の影響
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper describes the effect of the magnetic field distribution on the removal distribution of the workpiece surface in the magnetic field-assisted polishing method. In case of applying this method to the curved (aspheric) surface polishing, the next process is suitable. The designed shapes are first generated precisely by turning or grinding, and then the surfaces are finished only to improve the smoothness, with the previous form accuracy being maintained. Therefore, in order to carry out the uniform removal polishing using the magnetic field-assisted polishing, it is important to clarify the processing mechanism of this polishing method. In this report the relation between the distribution of magnetic field and the polishing pressure distribution was analyzed theoretically and experimentally using several shapes of magnetic poles in the polishing set-up. And, by polishing examination of the flat glass, the relations between the magnetic field distribution, polishing pressure distribution and polishing removal distribution were analyzed experimentally. As a result, the relations between the magnetic field distribution, polishing pressure distribution and polishing removal distribution were clarified.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-11-05
著者
関連論文
- 非球面創成研磨に関する研究(第2報) : 非軸対称非球面形状の研磨加工
- 超高速研削砥石の開発とガラスの加工
- ダイヤモンド単粒によるガラスの超高速研削
- 高速流動法によるステンレス鋼管内壁面の研磨
- 高速流動研魔法によるステンレス鋼パイプの内壁面研磨:一定圧力による研磨特性
- 旋回流動研磨法による微小径穴内壁面の研磨及び裏バリの除去
- 旋回流動研磨法による高硬度ステンレス鋼微細穴の仕上げ加工と端面の面取り
- 小径穴の仕上げ加工
- 放電加工された微細穴内壁面の高速旋回流動研磨(第2報) : 高硬度ステンレス鋼の場合
- 小径穴内壁面の精密研磨(第3報) : 砥粒及び添加材濃度の影響
- 放電加工微細穴内壁面の高速旋回流動研磨
- ダイス微細穴内壁面の高速流動研磨
- 超高速旋回流による微細穴内壁面の精密研磨および穴端面バリの除去
- 小径穴内壁面の精密研磨
- 金属厚肉円板に穿った徴細穴内壁面の高速流動研磨
- 超高速旋回流による円筒に穿った微細穴壁面の精密研磨
- 磁性スラリーによる硬ぜい性材料の精密研磨(FFF) : 磁場可変の効果
- 磁性スラリーによる硬ぜい性材料の精密研磨 -研磨機構の実験的検討-
- 磁性流体を利用したGLP(Grinding-like Polishing)の研究(FFF)(第6報) -磁場可変型研磨装置の研磨特性-
- 磁性流体を利用したGLP (Grinding-like Polishing) の研究 (FFF) (第5報) -カップ形ポリシャ方式研磨装置の研磨特性-
- 磁性流体を利用したGLP(Grinding-like Polishing)の研究(FFF)(第4報)-NC超精密平面研磨への適用-
- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究 : 斜軸研削法によるマイクロ非球面の鏡面研削の可能性検証
- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究(第3報) -砥石送り速度制御による表面粗さの改善-
- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究
- 部分電極付き研磨パッドによる電気泳動研磨
- フェライトの溝加工における砥石の減耗
- 薄刃ダイヤモンドブレードによるフェライトの溝加工(第1報) : エッジチッピングの生成に及ぼす砥石ボンド材の影響
- 微細圧力制御による微小領域の形状修正研磨
- 電気泳動現象利用による表面研磨 (FFF) (第2報) : 加工圧力付与による窒化けい素の研磨
- フェライトの微小破壊挙動と加工損傷
- E35 シリコン切削における加工温度解析および工具摩耗メカニズムの考察(OS-11 超精密加工(2))
- 単結晶ゲルマニウムの超精密・高能率加工特性
- アルミニウム粗大結晶の疲労強度
- 非球面形状の機上測定システムの開発
- ポア自生パッドの開発とそれの研磨加工への応用 : 超微細ダイヤモンドによるぜい性材料の研磨
- 高速流動法によるステンレス鋼曲がり管内壁面の研磨
- 温間引き抜き加工により創成された管の微細穴内壁面の高速流動研磨
- 電気泳動研磨に関する研究 : 副電極を配した場合
- 繰返し負荷を受けるポリメチルメタクリレートの剛性変化に及ぼす温度の影響
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 -表面粗さ低減における二段階研磨の効果-
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 (第3報) : ガラスビーズ添加の効果
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 (第2報) : 内径の異なる各種細管の研磨特性
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨(第1報) : 研磨の基本特性
- 極細ステンレス管内壁の超精密研磨(第2報)-各種内径の異なる管の研磨特性-
- マスフローメーター用極細ステンレス管の超精密研磨(第1報) -加工装置と基本特性-
- 部分電極工具による電気泳動研磨の試み
- ステンレス鋼製オリフィスプレート内壁面の高速流動研磨
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 -研磨特性に及ぼす注送圧力の影響-
- 単結晶Siレンズの非球面創成研磨に関する研究
- SR用軸外し回転楕円体ミラーの超精密加工 : 研削加工による形状創成
- 磁気援用研磨に関する研究(第2報) : 研磨量分布に与える磁場分布の影響
- 磁気援用研磨に関する研究 : 球面形状への適用
- SNCM439鋼の応力腐食割れき裂成長に及ぼす結晶粒径の影響とフラクタル特性
- 322 ガラスの疲労強度と超音波フラクトグラフィー(セラミックスI)
- 回転スピン制御法によるボールの電気泳動研磨
- ぜい性材料の電気泳動援用研磨(FFF) : 帯電砥粒の泳動条件が研磨特性に及ぼす効果
- 回転スピン制御法によるボールの電気泳動研磨
- 電気泳動現象利用による複合研磨技術
- 磁性流体を利用したGLP(Grinding-like Polishing)の研究(FFF) : シリコンウエハの平面研磨特性
- 磁性流体利用の作用砥粒数制御研磨
- プラズマ荷電による微粒子の分級と物質の同定
- 電気泳動現象利用による表面研磨 : Field-assisted Fine Finishing (FFF)に関する研究
- ポリシャ表層の動的粘弾性挙動
- 粘弾性体支持砥粒による表面研磨 : 加工機構に関する実験的検討
- 和紙のき裂伝ぱ
- 314 プラズマ利用による粒子分級(材料の評価)
- 318 和紙のき裂伝ぱ
- 和紙の衝撃強度
- スピン角度制御法による鋼球の精密研磨 : 研磨特性に及ぼすラップ盤形状の影響
- θ角制御法による窒化ケイ素球の研削加工
- 回転スピン制御法による鋼球の多段階研磨
- 非球面創成研磨に関する研究 : 研磨装置の開発
- 薄刃ダイヤモンド砥石のオンマシンツルーイング
- 薄刃ダイヤモンド砥石の弾性係数の評価
- 精密切断用薄刃ダイヤモンド砥石の機械的性質
- 202 応力存在下におけるフェライトの溝加工(セラミックスの成形・加工・じん性評価)
- 電気泳動現象を利用した光学ガラスの超精密研磨 (FFF) (第4報) -加工液循環方式研磨装置の研磨特性-
- 定切込み方式NC超精密研磨に関する研究 : 平面研磨特性と加工液粘性の影響
- 電気泳動現象を利用した光学ガラスの超精密研磨
- 高張力鋼SNCM439の応力腐食割れき裂成長におよぼす電極電位の影響とフラクタル特性
- 138 高張力SNCM439鋼の応力腐食割れき裂成長とフラクタル特性(フラクタル解析)
- LSIデバイスの平坦化(CMP)におけるパターン依存性の検討
- トレンチ分離CMPのパターン依存性の検討
- YAGレーザによるシリコンウエハの割断
- YAGレーザによるガラスの曲線割断
- YAGレーザによるガラスの精密割断
- 電場援用によるガラス/ガラスの接合
- 320 電場援用によるガラスの接合(高分子およびその他の非金属材料)
- 低炭素鋼なまし材の塑性ひずみ繰返し応力-ひずみ曲線の解析
- 2-30 X 線による塑性疲労の研究 : 塑性ひずみ繰返し変形に関して
- プラズマ援用による微粒子分級法の開発
- 鋼球の研磨特性の及ぼす自転速度の影響
- 鋼球の回転スピン制御研磨 : θ角強制回転の効果
- 鋼球の回転スピン制御研磨-公転半径が研磨特性に及ほす影響-
- ボールの回転スピン制御研磨 -ラップの寸法・形状が研磨特性に及ぼす影響-
- ボールの回転スピン制御研磨 -鋼球の研磨-
- ステンレス鋼製サニタリー管内壁面の高速流動研磨
- 回転スピン制御法による窒化ケイ素球の超精密研磨
- ポリシングによる発泡ポリウレタンパッドの減耗評価
- 回転スピン制御法による鋼球の多段階研磨 : 発泡ポリウレタンパッドによる研磨