θ角制御法による窒化ケイ素球の研削加工
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概要
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Spin angle control led ball lapping method developed recently, is to have an excel lent performance to lap the ball, in which V-groove lapping plate are separated into two parts and three plates are able to rotate indepen-dently. However, lapping of ceramic ball such as a silicon nitride(Si_3N_4) ball is very hard to finish its ball. Present paper focuses on spin angle controlled grinding of the Si_3N_4 ball using a diamond wheel. It is found that spin controlled grinding is sufficient to finish the Si_3N_4 ball. Experiments show that larger spin angle θyields both higher stock removal rate and lower surface roughness of the ball. Measurements indicate that a sphericity of the ball is closely related to spin angle θof the ball.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2001-09-05
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