トレンチ分離CMPのパターン依存性の検討
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概要
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- 1999-03-05
著者
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小寺 直
三菱電機(株)生産技術研究所
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小寺 直
三菱電機(株)
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小寺 直
三菱電機(株)生産技術センター
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林出 吉生
三菱電機(株)ULSI技術開発センター LSIプロセス開発部超清浄開発グループ
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林出 吉生
三菱電機(株)lsi技術開発センター
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林出 吉生
三菱電機 (株) Lsi 研究所
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林出 吉生
三菱電機(株)ulsi開発研究所
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長谷川 森
三菱電機(株)生産技術センター
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小林 裕通
三菱電機(株)LSI技術開発センター
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岩崎 正修
三菱電機(株)LSI技術開発センター
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