Mジェットスクラバーによるパーティクル除去

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概要

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微小な水滴をウエハ上に高速噴射させてパーティクルを除去する新規洗浄法、M(ミスト)ジェットスクラバーを開発した。本洗浄法の洗浄力は水滴の噴射速度に依存しており、噴射速度を制御することで、メガソニックスクラバー等の従来の物理洗浄法より微小なパーティクルの除去効果が高く、かつ、アルミ配線のレジスト残渣をダメージなしで除去することが可能である。更に薬液との組合わせにより、Wエッチバック後の強固に付着したパーティクルでも除去効果が高い。また洗浄メカニズムのモデル化した計算によれば、メガソニックスクラバーより1桁微小なパーティクルの除去が可能であり、PSL粒子の除去評価でその妥当性を確認した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1998-08-21

著者

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