林出 吉生 | 三菱電機(株)lsi技術開発センター

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関連著者

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• 長谷川 森

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• 千葉原 宏幸

  三菱電機(株) ULSI 技術開発センター

• 坂井 裕一

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 中谷 典一

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• 菅野 至

  三菱電機(株)ULSI技術開発センター LSIプロセス開発部超清浄開発グループ

• 菅野 至

  三菱電機(株)

• 佐々木 孝典

  三菱電機(株)半導体基盤技術統括部

• 坂井 裕一

  三菱電機(株)ulsi開発研究所

• 千葉原 宏幸

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• 小林 裕通

  三菱電機(株)LSI技術開発センター

• 岩崎 正修

  三菱電機(株)LSI技術開発センター

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著作論文

• Mジェットスクラバーによるパーティクル除去
• LSIデバイスの平坦化(CMP)におけるパターン依存性の検討
• トレンチ分離CMPのパターン依存性の検討

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