Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析 : ナノスクラッチ実験と分子動力学シミュレーションによる検討

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概要

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著者

• 清水 淳

  茨城大学工学部

• 小貫 哲平

  茨城大学工学部

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