Chemical Bonding Features of Fluorine and Boron in BF^+_2 -Ion-Implanted Si

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1990-12-20

著者

• 小柳 光正

  東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻知能システム設計学研究室

• HIROSE Masataka

  Department of Electrical Engineering, Hiroshima University

• Miyazaki S

  Hiroshima Univ. Higashi‐hiroshima Jpn

• Miyazaki Seiichi

  Department Of Electrical Engineering Hiroshima University

• Miyazaki Seiichi

  Dept. Of Electrical Engineering Hiroshima University

• YOKOYAMA Seiji

  School of Material Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology

• YOKOYAMA Shin

  Research Center for Nanodevices and Systems, Hiroshima University

• Yokoyama Seiji

  School Of Material Science Japan Advanced Institute Of Science And Technology

• Koyanagi Mitsumasa

  Research Center for Integrated Systems, Hiroshima University

• TAKAKURA Masaru

  Department of Electrical Engineering, Hiroshima University

• KINOSHITA Tsuyoshi

  Department of Electrical Engineering, Hiroshima University

• Tamura K

  Japan Atomic Energy Res. Inst. Ibaraki Jpn

• Kinoshita Takayuki

  The Institute For Solid State Physics The University Of Tokyo:(present Sddress)fujisawa Development

• Yokoyama Shin

  Research Center For Integrated Systems Hiroshima University

• Miyazaki Seiichi

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Advanced Sciences And Matter Hiroshima Unive

• Koyanagi Mitsumasa

  Research Center For Integrated Systems Hiroshima University

• Hirose Masataka

  Advanced Semiconductor Research Center National Institute Of Advanced Industrial Science And Technol

• Hirose M

  Materials Research Center Tdk Corporation

• Takakura M

  Department Of Electrical Engineering Hiroshima University

• Takakura Masaru

  Department Of Electrical Engineering Hiroshima University

• Yokoyama S

  Kyushu Univ. Fukuoka Jpn

• Hirose Masataka

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Advanced Sciences Of Matter Hiroshima Univer

• Kinoshita T

  Kobe Steel Ltd. Hyogo Jpn

• Hirose Masataka

  Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Hiroshima University

• Miyazaki Seiichi

  Department of Electrical Engineering and Computer Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan

• KINOSHITA TSUYOSHI

  Department of Chemical Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology

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