セルフアセンブリを基盤としたウェーハレベル三次元集積化技術 (シリコン材料・デバイス・IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-01-29
著者
-
小柳 光正
東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻知能システム設計学研究室
-
田中 徹
東北大学大学院工学研究科
-
福島 誉史
東北大学大学院工学研究科バイオロボティクス専攻
-
李 康旭
東北大学大学院工学研究科
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