光インタコネクションを有する3次元メモリ LSI

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概要

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• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文
• 1992-05-25

著者

• 小柳 光正

  東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻知能システム設計学研究室

• 横山 新

  広島大学集積化システム研究センター

• 小柳 光正

  広島大学集積化センター

• 岡野 廣

  広島大学集積化システム研究センター

• 高田 浩和

  広島大学集積化システム研究センター

• 横山 新

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

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