SC-9-6 トンネル効果を利用したシリコン機能デバイス
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-07
著者
-
内田 建
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
-
古賀 淳二
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
-
大場 竜二
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
-
鳥海 明
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
-
古賀 淳二
東芝 研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
大場 竜二
東芝研究開発センター
-
内田 建
東芝研究開発センター (株)東芝
-
古賀 淳二
東芝研究開発センターlsi基盤技術研究所
-
古賀 淳二
東芝
-
大場 竜二
(株)東芝セミコンダクター社
-
大場 竜二
東芝研究開発センターlsi基盤技術研究所
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