シリコンを使った新しい素子をめざして (特集:Siナノデバイス)
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概要
著者
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鳥海 明
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
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古賀 淳二
東芝 研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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大場 竜二
東芝研究開発センター
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古賀 淳二
東芝研究開発センターlsi基盤技術研究所
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古賀 淳二
東芝
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大場 竜二
(株)東芝セミコンダクター社
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大場 竜二
東芝研究開発センターlsi基盤技術研究所
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