二重トンネル接合層を用いた15nmプラナーバルクSONOS型メモリー素子(不揮発メモリと関連技術及び一般)
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概要
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ナノメートルスケールのSi微小結晶を、薄いトンネル酸化膜で挟んだ二重接合構造を、浮遊ゲート型メモリ素子のトンネル膜に応用することで、通常のトンネル酸化膜よりも優れた特性を実現することができます。Siナノ微結晶を介した単電子トンネルでは、量子閉じ込め効果とクーロンプロッケイド効果により、長時間記憶保持と高速書込消去の両立に極めて有利なトンネル特性になります。今回、二重接合ナノ微粒子構造をトンネル膜部に有するSONOS型メモリ素子が、ゲート長15nmで良好な動作をすることを実証します。微細CMOSプロセスよりも、バルクトランジスタのスケーリングをさらに進めることで短チャネル効果を抑制します。また15nmよりもさらに微細化を進めると、ソース・ドレイン間直接トンネルによるオフ電流増大が顕在化することも示します。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-03-07
著者
-
藤田 忍
大阪市立大学
-
藤田 忍
東芝研究開発センター
-
三谷 祐一郎
東芝
-
大場 竜二
東芝研究開発センター
-
杉山 直治
芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー
-
大場 竜二
芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
三谷 祐一郎
芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
藤田 忍
芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
大場 竜二
(株)東芝セミコンダクター社
-
大場 竜二
東芝研究開発センターlsi基盤技術研究所
-
藤田 忍
(株)東芝
-
三谷 祐一郎
(株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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