二重接合を用いた25nmSONOS型メモリ素子(新メモリ技術とシステムLSI)
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概要
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ナノメートルスケールの導電性微小粒子を、薄いトンネル抵抗で挟んだ構造を、単電子トンネルを扱う分野では「二重接合」と言います。このような二重接合構造をSONOS型メモリのトンネル膜に応用することで、ゲート長25nmのメモリ素子が良好な特性を示すことを示します。また、25nm領域において、二重接合トンネル膜が、通常の酸化膜よりも、高速書込消去と長時間記憶保持の両立において非常に有利であることを実証します。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-04-05
著者
-
藤田 忍
大阪市立大学
-
藤田 忍
東芝研究開発センター
-
藤田 忍
(株)東芝研究開発センター
-
大場 竜二
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
-
三谷 祐一郎
東芝
-
三谷 祐一郎
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
-
大場 竜二
東芝研究開発センター
-
三谷 祐一郎
芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
大場 竜二
(株)東芝セミコンダクター社
-
大場 竜二
東芝研究開発センターlsi基盤技術研究所
-
藤田 忍
(株)東芝
-
三谷 祐一郎
(株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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