MBE成長AlGaAs系材料への酸素混入のメカニズム : エピキタシャル成長I
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概要
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We systematically studied the incorporation mechanism of oxygen into MBE-grown AlGaAs-based materials with changing both growth temperature and growth rate of the layers. All the results are explained well with considering that the segregation of oxygen atoms plays very important role in its incorporation.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2002-07-01
著者
-
丸山 隆浩
名城大学理工学部材料機能工学科
-
成塚 重弥
名城大学理工学部材料機能工学科
-
成塚 重弥
名城大・理工
-
丸山 隆浩
名城大・理工
-
西永 頌
東京大学工学系研究科
-
丸山 隆浩
名城大学理工学部
-
成塚 重弥
名城大学理工学部
-
西永 頌
豊橋技術科学大学
-
西永 頌
名城大学理工学部
-
小林 理
名城大学理工学部材料機能工学科
-
光田 和弘
名城大学理工学部材料機能工学科
-
成塚 重弥
名城大学大学院理工学研究科
-
西永 頌
名古屋大学工学部
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