InPマイクロチャンネルエピタキシーにおける界面過飽和度とステップ移動速度 : 溶液成長
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概要
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Interface supersaturation and step velocity were determined in the microchannel epitaxy of InP. It has been found that the step velocity increases linearly with the interface supersaturation, and the slope of the linear curve, which gives kinetic coefficient of the growth, increases with the growth temperature. A critical value of the interface supersaturation, below which steps do not move, has also been found to exist.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1998-07-01
著者
-
成塚 重弥
名城大・理工
-
成塚 重弥
東京大学大学院工学系研究科
-
西永 頌
東京大学大学院工学系研究科
-
嚴 崢
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
成塚 重弥
名城大学大学院理工学研究科
-
西永 頌
名古屋大学工学部
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