23aB6 2次元拡散シミュレーションによるInP液相マイクロチャネルエピタキシーの解析(エピタキシャル成長I)
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概要
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We have carried out a theoretical approach for the understanding of the processes involving in the microchannel epitaxy (MCE). By numerically solving a two-dimensional equation for diffusion, concentration profile as a function of growth time in the growing solution can be determined. Based on this profile. A simulation of the MCE has been conducted. The W/T ratio derived from the simulation has a similar dependence with those obtained from the experiment.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1999-07-01
著者
-
成塚 重弥
名城大・理工
-
成塚 重弥
名城大学理工学部
-
成塚 重弥
東京大学大学院工学系研究科
-
西永 頌
東京大学大学院工学系研究科
-
巖 崢
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
成塚 重弥
名城大学大学院理工学研究科
-
西永 頌
名古屋大学工学部
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