LPEマイクロチャンネルエピタキシーにおける積層欠陥での2次元核の発生 : 溶液成長
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概要
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Atomic force microscopy (AFM) revealed that 2-dimensional nuclei were generated at a stacking fault (SF) in microchannel epitaxy (MCE) by LPE. Their bow-like shapes with large radius of curvature allow the nucleation to occur at a very low critical supersaturation. As a result, 2-dimensional nucleation becomes a major step source when SF exists even under a very low supersaturation usually employed in MCE.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1998-07-01
著者
-
成塚 重弥
名城大・理工
-
成塚 重弥
東京大学大学院工学系研究科
-
西永 頌
東京大学大学院工学系研究科
-
嚴 崢
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
成塚 重弥
名城大学大学院理工学研究科
-
西永 頌
名古屋大学工学部
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