SiC表面分解法におけるカーボンナノチューブ選択成長--高融点金属マスクを用いたパターニングの試み

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概要

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• 名城大学総合研究所の論文

著者

• 成塚 重弥

  名城大・理工

• 丸山 隆浩

  名城大・理工

• 成塚 重弥

  名城大学理工学部

• 成塚 重弥

  名城大学大学院理工学研究科

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