26aE01 面間拡散とその応用 : マイクロ・ナノ構造の作製に向けて(ナノエピシンポジウム,第34回結晶成長国内会議)
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概要
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For the fabrication of micro/nano-structures by crystal growth, it is useful to employ facets to cover the structures. In vapor growth such as MBE, many facets appear during the growth. The final facet, which covers the desired structure, is that has the slowest growth velocity. Inter-surface diffusion, which is defined as surface diffusion between the facets, determines which facet remains during the growth. In this paper, we discuss the origin of the inter-surface diffusion, the way to control and its application for micro/nano-structure fabrication.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2004-08-25
著者
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