極浅接合における異なる化学結合状態を持つ不純物の検出とその深さ方向プロファイル評価
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概要
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- 2012-06-14
著者
-
筒井 一生
東京工業大学大学院 総合理工学研究科
-
服部 健雄
東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
-
アヘメト パールハット
東京工業大学 フロンティア創造共同研究センター
-
角嶋 邦之
東京工業大学
-
岩井 洋
東京工業大学
-
野平 博司
東京都市大
-
金原 潤
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
宮田 陽平
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
泉 雄大
高輝度光科学研究セ
-
室 隆桂之
高輝度光科学光科学研究センター
-
木下 豊彦
高輝度光科学光科学研究センター
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