CMOS技術の限界と課題(CMOS技術の限界,課題,新しい展開)
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概要
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CMOS集積回路は省エネ社会の鍵を握る大変に重要な部品であり,その需要は今後も増え続ける.CMOS集積回路の今後の更なる低コスト化,低消費電力化,高性能化は大変に重要であるが,これは素子の微細化によって達成されてきた.将来微細化を制限する要因はMOSEFTオフ時のリーク電流の増加などであり,用途によっては5nmあたりで限界に到達する可能性が高い.しかしこれは未だ数世代,10年以上先のことであり,各国ともハイテク産業国際競争力の一層の強化を目指し,Si微細化本流技術の研究開発に注力している.
- 2011-07-01
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