Si基板の微細加工による赤外域フォトニック構造の作製と評価

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概要

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• 2006-05-11

著者

• 三宅 秀人

  三重大学大学院工学研究科

• 平松 和政

  三重大学大学院工学研究科

• 平松 和政

  三重大 工

• Matsushima Hidetada

  Department Of Electronics School Of Engineering Nagoya University

• 石井 丈晴

  三重大学大学院工学研究科電気電子工学専攻

• 松岡 史晃

  三重大学大学院工学研究科電気電子工学専攻

• 平松 和政

  三重大学大学院 工学研究科

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