エッチピット法によるAlNエピタキシャル膜中の貫通転位の評価

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概要

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• 2011-11-10

著者

• 三宅 秀人

  三重大学大学院工学研究科

• 平松 和政

  三重大学大学院工学研究科

• 野村 拓也

  三重大学大学院工学研究科

• 桑原 崇彰

  九州大学大学院総合理工学府

• 龍 祐樹

  九州大学大学院総合理工学府

• 桑野 範之

  九州大学大学院総合理工学府

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