Improved Etched Surface Morphology in Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of GaN by Cyclic Injection of CH_4/H_2/Ar and O_2 with Constant Ar Flow

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概要

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• Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
• 2005-07-30

著者

• 荒川 太郎

  横浜国立大学大学院工学研究院

• 羽路 伸夫

  横浜国立大学大学院工学研究院

• ARAKAWA Taro

  Graduate School of Engineering, Yokohama National University

• HANEJI Nobuo

  Graduate School of Engineering, Yokohama National University

• TADA Kunio

  Graduate School of Engineering, Kanazawa Institute of Technology

• AWA Yoshiki

  Graduate School of Engineering, Yokohama National University

• IDE Tomoyoshi

  Graduate School of Engineering, Yokohama National University

• SUGIYAMA Masakazu

  Graduate School of Engineering, The University of Tokyo

• SHIMIZU Hiromasa

  Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo

• SHIMOGAKI Yukihiro

  Graduate School of Engineering, The University of Tokyo

• NAKANO Yoshiaki

  Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo

• 多田 邦雄

  金沢工業大学大学院

• Nakano Yoshiaki

  Research Center For Advanced Science And Technology The University Of Tokyo

• Nakano Yoshiaki

  Research Center For Advanced Science And Technology Univ. Of Tokyo

• Nakano Yoshiaki

  Graduate School Of Engineering The University Of Tokyo

• Sugiyama Masaaki

  R & D Laboratories-i Central R & D Bureau Nippon Steel Cotporation

• Shimizu Hiromasa

  Research Center For Advanced Science And Technology The University Of Tokyo

• Sugiyama M

  Department Of Electric Engineering And Information Systems School Of Engineering The University Of T

• Sugiyama Munehiro

  Ntt Interdisciplinary Research Laboratories

• Awa Yoshiki

  Graduate School Of Engineering Yokohama National University

• Nakano Y

  Research Center For Advanced Science And Technology The University Of Tokyo

• Ide Tomoyoshi

  Graduate School Of Engineering Yokohama National University

• Shimogaki Y

  Department Of Materials Engineering School Of Engineering The University Of Tokyo

• Nakano Yoshiaki

  Research Center For Advanced Science And Technology (rcast) At The University Of Tokyo

• Arakawa Taro

  Graduate School of Engineering Yokohama National Univ

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