Improved Etched Surface Morphology in Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of GaN by Cyclic Injection of CH_4/H_2/Ar and O_2 with Constant Ar Flow
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2005-07-30
著者
-
荒川 太郎
横浜国立大学大学院工学研究院
-
羽路 伸夫
横浜国立大学大学院工学研究院
-
ARAKAWA Taro
Graduate School of Engineering, Yokohama National University
-
HANEJI Nobuo
Graduate School of Engineering, Yokohama National University
-
TADA Kunio
Graduate School of Engineering, Kanazawa Institute of Technology
-
AWA Yoshiki
Graduate School of Engineering, Yokohama National University
-
IDE Tomoyoshi
Graduate School of Engineering, Yokohama National University
-
SUGIYAMA Masakazu
Graduate School of Engineering, The University of Tokyo
-
SHIMIZU Hiromasa
Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo
-
SHIMOGAKI Yukihiro
Graduate School of Engineering, The University of Tokyo
-
NAKANO Yoshiaki
Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo
-
多田 邦雄
金沢工業大学大学院
-
Nakano Yoshiaki
Research Center For Advanced Science And Technology The University Of Tokyo
-
Nakano Yoshiaki
Research Center For Advanced Science And Technology Univ. Of Tokyo
-
Nakano Yoshiaki
Graduate School Of Engineering The University Of Tokyo
-
Sugiyama Masaaki
R & D Laboratories-i Central R & D Bureau Nippon Steel Cotporation
-
Shimizu Hiromasa
Research Center For Advanced Science And Technology The University Of Tokyo
-
Sugiyama M
Department Of Electric Engineering And Information Systems School Of Engineering The University Of T
-
Sugiyama Munehiro
Ntt Interdisciplinary Research Laboratories
-
Awa Yoshiki
Graduate School Of Engineering Yokohama National University
-
Nakano Y
Research Center For Advanced Science And Technology The University Of Tokyo
-
Ide Tomoyoshi
Graduate School Of Engineering Yokohama National University
-
Shimogaki Y
Department Of Materials Engineering School Of Engineering The University Of Tokyo
-
Nakano Yoshiaki
Research Center For Advanced Science And Technology (rcast) At The University Of Tokyo
-
Arakawa Taro
Graduate School of Engineering Yokohama National Univ
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