五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング)
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概要
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InGaAs/InAlAs五層非対称結合量子井戸(FACQW)をコアに持つマイクロリング共振器チューナブル波長フィルタを提案し,その設計および試作を行った.結合効率の柔軟な選択が出来るよう,リング導波路とバスライン導波路との結合部はエッチングをコアの途中で止める方向性結合型を採用した.共振波長間隔(FSR)が3.65nm,半値全幅(FWHM)が0.32nmのフィルタ特性を得るために,結合効率Kを0.221とした.その時のリングの周回損失α_tは0.89dB/roundと見積もられる.理論波長チューニング特性を計算したところ,FACQWの電界屈折率効果の屈折率変化による共振波長シフトは印加電圧2.2Vで0.83nmと予想された.設計した波長フィルタを2段階のドライエッチングプロセスを用いて試作した.透過特性から結合効率,周回損失を求めると,K=0.155,α_t=1.884dB/roundとなった.結合効率の設計値からのずれは,結合部の溝のエッチング深さd_eが設計値よりもやや深くなったためと思われる.印加電圧13Vで共振波長シフトは0.9nmであった.期待された動作電圧よりもかなり高かったものの,電圧による波長チューニング特性を得ることに成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-06-12
著者
-
長谷川 亮
横浜国立大学大学院工学研究院
-
槙野 太郎
横浜国立大学大学院工学研究院
-
荒川 太郎
横浜国立大学大学院工学研究院
-
國分 泰雄
横浜国立大学大学院工学研究院
-
國分 泰雄
横浜国立大学 大学院工学研究院
-
國分 泰雄
横浜国立大学大学院工学研究院知的構造の創生部門
-
槙野 太郎
横浜国立大学大学院工学府
-
國分 泰雄
横浜国立大学大学院工学研究院知的構造の創成部門
-
國分 泰雄
横浜国立大学
-
荒川 太郎
横浜国立大学 大学院工学研究院
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