マイクロリング共振器用SiON光導波膜の紫外線感光性の起源と低損失化の探求
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概要
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- 2006-05-12
著者
-
國分 泰雄
横浜国立大学大学院工学研究院
-
大平 俊行
産業技術研究所
-
上野 哲
横浜国立大学 大学院工学府
-
國分 泰雄
横浜国立大学 大学院工学研究院
-
帶刀 崇
横浜国立大学 大学院工学府
-
塩谷 喜美
半導体プロセス研究所
-
國分 泰雄
横浜国立大学
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