立体光配線のための積層光結合器の高効率化
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概要
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これまで, 我々はARROW型導波路を用いた三結合型光結合器や強結合構造を用いた二結合型光結合器を提案し, 光結合を確認したが, 前者については結合長が長く製作許容誤差が小さいこと, 後者については最大結合効率が低くレイアウト上の制約もあるという問題が残されていた. そこで本研究ではこれらの点を改善するため, SLC-ARROWを用いてチャネル導波路化した三結合型光結合器の結合部の中間クラッド層における膜厚, 屈折率を最適化した構造を提案し, 三結合型積層光結合器の小型化と高効率化を目指した. 素子試作によって, 製作許容誤差範囲が広く, また結合長800μmで出力比99%以上の素子を実証した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-05-13
著者
-
國分 泰雄
横浜国立大学大学院工学研究院
-
朱 世徳
National Institute Of Standards And Technology
-
藩 伍根
Mit
-
朱 世徳
神奈川科学技術アカデミー
-
國分 泰雄
横浜国立大学工学部電子情報工学科
-
國分 泰雄
横浜国立大学 大学院工学研究院
-
藩伍 根
神奈川科学技術アカデミー
-
生田 成範
横浜国立大学工学部電子情報工学科
-
関本 高史
横浜国立大学工学部電子情報工学科
-
関本 高史
神奈川科学技術アカデミー:横浜国立大学工学部
-
生田 成範
神奈川科学技術アカデミー:横浜国立大学工学部
-
國分 泰雄
横浜国立大学
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