マイクロリング共振器用SiON光導波膜の紫外線感光性の起源と低損失化の探求(光アクセスに向けた光ファイバ,光デバイス・モジュール,一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
本研究では高屈折率SiON導波路で1160℃以上の高温アニール技術を開発し,その結果SiON膜に含まれているN-H基が原因に起因する波長1510-1520nmの吸収損失の低減に成功した.また,アニール処理を行ったSiON膜の紫外線感光性の反転を発見し,SiONをコアに用いたマイクロリング共振器のUV光照射によるレッドシフトと選択UVトリミングによる2次マイクロリングの特性改善の実証に成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-05-12
著者
-
國分 泰雄
横浜国立大学大学院工学研究院
-
大平 俊行
産業技術研究所
-
上野 哲
横浜国立大学 大学院工学府
-
國分 泰雄
横浜国立大学 大学院工学研究院
-
帶刀 崇
横浜国立大学 大学院工学府
-
塩谷 喜美
半導体プロセス研究所
-
國分 泰雄
横浜国立大学
関連論文
- DWDMシステムの極限符号効率 : 波長チャネル間隔とフィルタ帯域幅から決まる伝送帯域の極限値とクロストークの関係
- 五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング)
- C-3-71 ハイメサ半導体マイクロリング波長選択スイッチ用結合部の設計(光スイッチ,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
- 4次直列結合マイクロリング共振器の並列配置によるOCDM符号化回路と帯域幅可変フィルタの原理実証(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
- 半導体マイクロリング共振器を有する低電圧動作マッハ・ツェンダー光変調器の特性解析(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
- C-3-15 4次直列結合MRR型波長選択スイッチによるOCDM符号化及び帯域幅可変フィルタ(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-57 3ポート波長選択スイッチの熱干渉と透過損失の低減(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 空間多重・モード多重伝送へ向けた異種非結合および同種結合マルチコアファイバの提案(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
- C-3-10 モード分割多重方式のための新規マルチコアファイバの提案(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 4次直列結合マイクロリング共振器の並列配置によるOCDM符号化回路と帯域幅可変フィルタの原理実証
- 半導体マイクロリング共振器を有する低電圧動作マッハ・ツェンダー光変調器の特性解析
- 空間多重・モード多重伝送へ向けた異種非結合および同種結合マルチコアファイバの提案
- 積層交叉型波長フィルタの偏光無依存化法
- C-3-25 非結合系マルチコアファイバにおける最大収容コア数とファイバ径の関係(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 積層マイクロリング共振器Add/Dropフィルタ
- C-3-11 コヒーレント結合による方向性結合器の低損失設計法(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング)
- 立体交差バスラインをもつ積層マイクロリング共振器型Add/Dropフィルタ(光・電波ワークショップ)
- 立体交差バスラインをもつ積層マイクロリング共振器型Add/Dropフィルタ(光・電波ワークショップ)
- 立体交差バスラインをもつ積層マイクロリング共振器型Add/Dropフィルタ(光・電波ワークショップ)
- 立体交差バスラインをもつ積層マイクロリング共振器型Add/Dropフィルタ(光・電波ワークショップ)
- BCI-1-7 マルチコアファイバと入出力合分波デバイス(BCI-1.エクサビット時代に向けた革新的光伝送技術とそれを支えるデバイス技術,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)
- C-3-58 マッハツェンダー結合マイクロリング共振器を用いたヒットレス波長選択スイッチの提案と解析(光スイッチ・光変調器(2),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-3 隣接2波長間位相差検出によるOCDM複合化(光信号処理・補償デバイス,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- マイクロアクチュエータによるマイクロリング共振器フィルタの結合効率制御(光アクセスに向けた光ファイバ,光デバイス・モジュール,一般)
- C-3-53 高次直列結合マイクロリング共振器の最適結合効率条件と分散特性(導波路デバイス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 2次直列結合マイクロリング共振器の最適結合率の実験的検証(量子効果型光デバイス・光集積化技術, 及び一般)
- 2次直列結合マイクロリング共振器の最適結合率の実験的検証(量子効果型光デバイス・光集積化技術, 及び一般)
- C-4-20 InGaAs/InAIAs五層非対称結合量子井戸マッハ・ツェンダー型光変調器(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- 空間多重・モード多重伝送へ向けた異種非結合および同種結合マルチコアファイバの提案(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
- BCI-1-7 マルチコアファイバと入出力合分波デバイス(BCI-1.エクサビット時代に向けた革新的光伝送技術とそれを支えるデバイス技術,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)
- BS-6-5 歪み格子による異種非結合マルチコアファイバの高密度化(BS-6.光ファイバのハイパワー化に関する技術動向,シンポジウムセッション)
- C-3-51 SiN リングコアをもつ積層マイクロリング共振器フィルタの紫外線トリミングの長期安定性
- 積層マイクロリング共振器フィルタのリングコアへの紫外線照射による中心波長高精度トリミング
- 積層マイクロリング共振器フィルタのリングコアへの紫外線照射による中心波長高精度トリミング
- C-3-87 積層マイクロリング共振器フィルタのリングコアへの直接紫外線照射による中心波長トリミング
- 多値光記録用複屈折膜への微小ピットの形成と原理の実証
- 多値光記録用複屈折膜への微小ピットの形成と原理の実証
- イオンビームスパッタ装置による基板垂直面への薄膜フィルタの選択的成膜
- マイクロリング共振器用SiON光導波膜の紫外線感光性の起源と低損失化の探求(光アクセスに向けた光ファイバ,光デバイス・モジュール,一般)
- マイクロリング共振器用SiON光導波膜の紫外線感光性の起源と低損失化の探求
- 4次直列結合マイクロリング共振器の並列配置によるOCDM符号化回路と帯域幅可変フィルタの原理実証(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
- チューナブル積層マイクロリング共振器の応答高速化と偏光無依存化(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- C-3-12 4次直列結合マイクロリング共振器を用いたヒットレス波長選択スイッチの最適なOFF状態の探索(光スイッチ(II),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-11 4次直列結合マイクロリング共振器によるヒットレス波長選択スイッチを用いた3段縦列光クロスコネクト(光スイッチ(II),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- CS-11-4 ヒットレス波長選択スイッチを用いた3段縦列および3段並列光クロスコネクト(CS-11.光信号処理用デバイスの現状と展望,シンポジウム)
- CS-4-5 ヒットレス型マイクロリング共振器波長可変フィルタ(CS-4.広帯域・波長可変光デバイスの最新動向とその応用,シンポジウム)
- C-3-20 ヒットレス波長選択スイッチの応答速度の理論的検討(光スイッチ,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- CS-8-6 ノンブロッキング波長選択スイッチの広帯域高速化(CS-8. ナノスケール光集積回路技術の展望, エレクトロニクス1)
- C-3-57 2次直列結合リング共振器の無損失零3次分散条件と分散補償(C-3. 光エレクトロニクス(導波路デバイス1), エレクトロニクス1)
- 異径高次直列結合マイクロリング共振器のクロストーク低減のための最適配列法(量子効果型光デバイス・光集積化技術, 及び一般)
- 異径高次直列結合マイクロリング共振器のクロストーク低減のための最適配列法(量子効果型光デバイス・光集積化技術, 及び一般)
- C-3-14 2次直列結合リング共振器の分散特性と零3次分散条件(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- C-3-13 2次直列結合マイクロリング共振器の最適結合率の探索(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- C-3-67 2次直列結合リング共振器型ノンブロッキング波長スイッチのスルーポートの時間応答特性(光スイッチ)(C-3.光エレクトロニクス)
- マイクロリング共振器を用いたノンブロッキング波長スイッチの理論的検討(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- マイクロリング共振器を用いたノンブロッキング波長スイッチの理論的検討(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- C-3-30 マッハ-ツェンダ干渉計を結合器に用いたリング共振器フィルタ型ノンブロッキング波長スイッチ
- C-3-29 高次直列結合リング共振器フィルタ型ノンブロッキング波長スイッチのクロストーク解析
- C-3-135 結合モード展開と微小区間区分伝搬を用いた光導波路の伝搬数値解析
- SiONの紫外線感光性屈折率変化とマイクロリング共振器フィルタの広範囲中心波長トリミングへの応用(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- SiONの紫外線感光性屈折率変化とマイクロリング共振器フィルタの広範囲中心波長トリミングへの応用(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- チューナブル積層マイクロリング共振器の応答高速化と偏光無依存化(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- SiONの紫外線感光性屈折率変化とマイクロリング共振器フィルタの広範囲中心波長トリミングへの応用(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- チューナブル積層マイクロリング共振器の応答高速化と偏光無依存化(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- SiONの紫外線感光性屈折率変化とマイクロリング共振器フィルタの広範囲中心波長トリミングへの応用(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- チューナブル積層マイクロリング共振器の応答高速化と偏光無依存化(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- 光ゲートアレイを目的としたクロスグリッド状バスライン導波路光配線のための積層光分岐素子(光波ネットワーク・光アクセスに向けた光波デバイス,光集積回路,一般)
- 空気クラッド埋め込み超高屈折率差光導波路の製作と積層マイクロリング共振器の微小化(光部品の実装,信頼性)
- 空気クラッド埋め込み超高屈折率差光導波路の製作と積層マイクロリング共振器の微小化(光部品の実装,信頼性)
- 空気クラッド埋め込み超高屈折率差光導波路の製作と積層マイクロリング共振器の微小化(光部品の実装,信頼性)
- C-3-94 光ゲートアレイのための積層型光分岐素子
- C-3-7 直列接続マイクロリング共振器フィルタのスペクトル特性の解析
- C-3-6 積層2重結合マイクロリング共振器による透過帯域平坦化
- マイクロリング共振器フィルタの短パルス伝送特性の測定
- マイクロリング共振器フィルタの超短パルス伝送特性の測定
- マイクロリング共振器フィルタの超短パルス伝送特性の測定
- 立体光配線のための積層光結合器の高効率化
- 損失の偏波依存性の小さい高次モード結合放射型光導波路の提案
- マイクロリング光回路(学生/教養のページ)
- C-3-74 マイクロリング共振器を有する半導体マッハ・ツェンダー光変調器の特性解析(光変調器,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-33 マイクロリング共振器光回路(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- B-10-60 DWDMシステムの符号効率最大化のための最適波長フィルタ設計 : ランダム入力パルス列を用いたQ値による評価(B-10. 光通信システムB(光通信))
- DWDMシステムにおける高符号効率伝送のための最適波長フィルタ特性の検討((フォトニック)IPネットワーク技術,(光)ノード技術,WDM技術,一般)
- DWDMシステムにおける高符号効率伝送のための最適波長フィルタ特性の検討((フォトニック)IPネットワーク技術,(光)ノード技術,WDM技術,一般)
- DWDMシステムにおける波長フィルタの最適スペクトル特性の検討 : クロストークフロアの極限符号効率への影響(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- DWDMシステムにおける波長フィルタの最適スペクトル特性の検討 : クロストークフロアの極限符号効率への影響(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- C-3-24 立体交差型バスラインを持つ積層マイクロリング共振器型 Add/Drop フィルタ
- C-3-50 波長フィルタのクロストークフロアによる極限符号効率への影響
- DWDMシステムの符号効率を改善する波長フィルタの最適スペクトル特性の検討(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- DWDMシステムの符号効率を改善する波長フィルタの最適スペクトル特性の検討
- DWDMシステムの符号効率を改善する波長フィルタの最適スペクトル特性の検討
- DWDMシステムの符号効率を改善する波長フィルタの量適スペクトル特性の検討
- C-3-89 DWDM システムにおける高符号効率化のための最適フィルタスペクトル形状の検討
- マイクロリング共振器フィルタの高次直列接続による透過帯域平坦化とFSRの拡大
- スポットサイズ整合バスライン導波路による積層マイクロリング共振器フィルタの入出力損失の低減
- マイクロリング共振器フィルタの高次直列接続による透過帯域平坦化とFSRの拡大
- 熱光学効果を用いたチューナブルマイクロリング共振器型フィルタ(量子効果型光デバイス,及び光集積化技術,及び一般)
- 熱光学効果を用いたチューナブルマイクロリング共振器型フィルタ(量子効果型光デバイス,及び光集積化技術,及び一般)
- BS-7-7 異種非結合および同種結合マルチコアファイバ(BS-7.次世代伝送用光ファイバの展望,シンポジウムセッション)