ガラス上におけるSiGe薄膜のアルミニウム誘起結晶化とその成長メカニズム (シリコン材料・デバイス)

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概要

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• 2010-04-23

著者

• 宮尾 正信

  九州大学大学院システム情報科学

• 黒澤 昌志

  九州大学大学院システム情報科学

• 川畑 直之

  九州大学大学院システム情報科学

• 佐道 泰造

  九州大学大学院システム情報科学

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