インプリントSi種結晶からの溶融エピタキシャル成長による単結晶GOIの無欠陥形成
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概要
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- 2010-04-16
著者
-
宮尾 正信
九州大学大学院システム情報科学
-
佐道 泰造
九州大学大学院システム情報科学
-
坂根 尭
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
都甲 薫
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
田中 貴規
九州大学大学院システム情報科学研究院
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