Si単電子FETによるフォトン検出(第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
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概要
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我々は、Siデバイスのブレークスルーにとって、3つの要素が重要と考えて研究を進めている。すなわち、単電子の転送制御、単一フォトンおよび単一ドーパントの検出・利用であり、これらは相互に深く関連している。本報告では、単一フォトン検出を中心に、Si多重接合FETを用いた我々の最近の研究結果について述べる。フォトン検出の研究はまだ基礎的段階であるが、従来のアバランシェ・フォトダイオードなどと比べて低電圧動作が可能で、ポストスケーリング技術としての可能性を持っている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-06-18
著者
-
田部 道晴
静岡大学電子工学研究所
-
Tabe M
Shizuoka Univ. Hamamatsu Jpn
-
ヌルヤディ ラトノ
静岡大学電子工学研究所
-
Tabe Michiharu
Ntt Lsi Laboratories:(present Address)research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
ブルハヌディン ザイナル
静岡大学電子工学研究所
-
田部 道晴
静岡大学 電子工学研究所
-
ブルハヌディン ザイナル
Research Institue Of Electronics Shizuoka University
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