極薄SOIを用いたシリコンナノ構造デバイス
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概要
著者
-
田部 道晴
静岡大学電子工学研究所
-
石川 靖彦
静岡大学電子工学研究所
-
石川 靖彦
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
水野 武志
静岡大学電子工学研究所
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