Si Pillar Formation and Height Countrol by Furnace Oxidation of the Si (111) Surface with Ultra-Small SiN Nuclei

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1998-03-30

著者

• Murakami Kenji

  Research Team for Viral Diseases, National Institute of Animal Health

• 田部 道晴

  静岡大学電子工学研究所

• TABE Michiharu

  Research Institute of Electronics, Shizuoka University

• Tabe Michiharu

  Research Institue Of Electronics Shizuoka University

• Murakami K

  静岡大学電子工学研究所

• YAMAMOTO Takeshi

  Research Institute of Electronics, Shizuoka University

• NAGASAWA Tadashi

  Research Institute of Electronics, Shizuoka University

• Murakami Kouichi

  Institute Of Materials Science University Of Tsukuba

• Murakami Kouichi

  Institute Of Material Science University Of Tsukuba

• Nagasawa Takeshi

  Department Of Electric And Electronic Engineering Utsunomiya University

• Yamamoto T

  Institute Of Life Science Research Asahi Chemical Co. Ltd.

• Nagasawa T

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• Murakami K

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• Murakami Kenji

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• Yamamoto Takeshi

  Research Institute For Sustainable Humanosphere Kyoto University

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