高周波スパッタ法によるゲルマニウム-炭素系非晶質薄膜
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概要
著者
-
吉岡 捷爾
香川大学
-
中村 茂昭
高松工業高等専門学校
-
斎藤 順雄
高松工専
-
仲秋 勇
静岡県静岡工業技術センタ
-
山口 十六夫
静岡大学
-
吉岡 捷爾
高松工専
-
仲秋 勇
静岡県工業技術センター
-
山口 十六夫
静岡大学電子工学研究所
-
中村 茂明
高松工専
-
山口 十六夫
静岡大 電子工研
-
中村 茂昭[他]
高松工専
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