CF4を用いた反応性スパッタリング法で作成したa-SixCyFz薄膜の性質
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- 分光エリプソメトリ解析に有用な非晶資材料の経験的誘電率関数
- 分光エリプソメトリー解析に有用な非晶質材料の経験的誘電率関数とその応用
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- 経験的誘電関数による非晶質材料の分光エリプソメトリ解析
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- 金属微粒子分散系の光吸収と微粒子物性のサイズ依存
- RFスパッタガラス薄膜の膜厚監視