三元系水素化アモルファス薄膜a-SiCO:Hの作成と特性
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概要
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- 2000-03-20
著者
-
斎藤 順雄
宮崎大学
-
斎藤 順雄
高松工専
-
仲秋 勇
静岡県静岡工業技術センタ
-
仲秋 勇
静岡県富士工業技術センタ
-
山口 十六夫
静岡大学
-
齋藤 順雄
高松工業高等専門学校
-
山口 十六夫
静岡大 電子工研
-
仲秋 勇
静岡県富士工技センタ
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