複合ターゲット法によるGa添加a-SiC:H薄膜
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概要
著者
-
山口 十六夫
静大電子研
-
斎藤 順雄
宮崎大学
-
斉藤 順雄
高松工専
-
仲秋 勇
静岡県静岡工業技術センタ
-
山口 十六夫
静岡大学
-
齋藤 順雄
高松工業高等専門学校
-
乾 靖彦
静大電子研
-
仲秋 勇
静岡県工技センタ
-
山口 十六夫
静岡大 電子工研
-
乾 靖彦
静岡大学工学部
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