ばらつき因子の大域的な同定と統計的ワーストケースモデルの生成方法について(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
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概要
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コンパクトモデルのパラメータ抽出を含む新しいワーストケースモデルの生成方法を提案する.本手法により,デバイス開発の早期段階において物理的に正確なワーストケース予測をコンカレントに実現可能になる.TEG解析とTCADを用いたシミュレーションにより,プロセス因子間の相関がワーストケースコーナーの予測に重大なインパクトを有することが明らかとなった.さらに,パラメータ間の相関を考慮できる誤差伝播法に基づく新しいコンパクトモデルパラメータ抽出法を開発した.
- 2006-09-19
著者
-
土屋 修
(株)ルネサステクノロジ
-
谷沢 元昭
ルネサステクノロジ株式会社
-
石川 清志
株式会社ルネサステクノロジ
-
岡垣 健
(株)ルネサステクノロジ
-
永久 克己
(株)ルネサステクノロジ
-
谷沢 元昭
(株)ルネサステクノロジ
-
永久 克巳
(株)ルネサステクノロジ
-
石川 清志
(株)ルネサステクノロジ
-
土屋 修
株式会社ルネサステクノロジ
-
永久 克己
株式会社ルネサステクノロジ
-
石川 清志
ルネサステクノロジ
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