SC-7-3 MOCVD法によるSi基板上GaAs結晶成長

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2000-09-07

著者

• 高野 泰

  静岡大学工学部

• 福家 俊郎

  静岡大学工学部

• 高野 泰

  静岡大学・工

• 福家 俊郎

  静岡大学・工

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