2インチ基板上に作製したスポットサイズ変換機能付きLD-III
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概要
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光ネットワークの基本要素として有望視されているスポットサイズ変換機能(SSC)を集積化したLD(SSLD)については、種々のタイプの構造が提案されている。我々は図1に示す構造の装荷型の横方向テーパを有するリッジ導波路型のSSLDについて検討を進めてきた。このSSLDのテーパ部はステッパを用いた通常のリソグラフィ技術により実現でき、また、SSC部にはInPのリッジ構造を用いているためpn埋め込みの影響等を受けないことから、結晶技術に対する負担が軽く、全体として製作し易いと考えられる。我々はこのSSLDの実現を目指して試作を行い、2インチウエファの直径に亘る良好な一様性、およびウエファ間の作製再現性が得られること、さらに、活性層に歪量子井戸構造(sMQW)を用いることにより特性の向上が得られることを示した。本報告ではファイバへの結合効率のSSC部の構造パラメタ依存性について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
板屋 義夫
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
近藤 康洋
NTT光エレクトロニクス研究所
-
和田 正人
NTT光エレクトロニクス研究所
-
界 義久
NTT光エレクトロニクス研究所
-
岸 健志
NTT光エレクトロニクス研究所
-
近藤 進
日本電信電話株式会社nttフォトニクス研究所:新潟国際情報大学
-
神徳 正樹
Nttフォトニクス研究所
-
野口 悦男
NTT光エレクトロニクス研究所
-
河野 健治
Nttフォトニクス研究所
-
門田 好晃
NTT光エレクトロニクス研究所
-
岡本 浩
NTT光エレクトロニクス研究所
-
界 義久
NTTフォトニクス研究所
-
小高 勇
NTT光エレクトロニクス研究所
-
神徳 正樹
NTT光エレクトロニクス研究所
-
河野 健治
NTT光エレクトロニクス研究所
-
近藤 進
NTT光エレクトロニクス研究所
-
門田 好晃
Nttフォトニクス研究所:nttエレクトロニクス
-
野口 悦男
日本電信電話株式会社nttフォトニクス研究所:nttエレクトロニクス株式会社
-
河野 健治
Ntt 光エレクトロニクス研
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