スポットサイズ変換レーザ
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概要
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スポットサイズ変換レーザはレーザビームの出射角を狭窄しレンズ系を使用せずにレーザとファイバまたはPLCとの光結合を容易にする点から美装のコスト低下につながるものと考えられる。また、スポットサイズ変換レーザを2インチ基板上に高い均一性で作製できれば、 1チップ当たりのコストを大幅に低減することが可能となる。本報告ではスポットサイズ変換レーザを2インチ基板上に作製し、高い均一性で良好な特性を再現性良く得たので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-02-15
著者
-
板屋 義夫
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
杉江 利彦
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
杉江 利彦
NTT光エレクトロニクス研究所
-
杉江 利彦
NTT光ネットワークシステム研究所
-
山本 みつ夫
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
山本 [ミツ]夫
NTT光エレクトロニクス研究所
-
山本 夫
Ntt光エレクトロニクス研究所
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