2インチInP基板上に作製したバットジョイント選択成長スポットサイズ変換レーザの均一性
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概要
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スポットサイズ変換レーザーダイオード(SSC-LD)はレンズ結合なしで光ファイバ、PLC (Planar Lightwave Circuit)等に低損失かつトレランスの大きいカップリングが可能であるため、低価格光モジュールにおけるキーデバイスの1つである。これまでに我々は1.3μmバットジョイント(BJ)選択成長スポットサイズ変換LDを開発してきた。このタイプのSSC-LDは低しきい値、良好な高温動作特性を有する。しかしその一方、BJ選択成長を2インチフルウエハプロセスに用いた場合に高歩留りな素子作製が可能か否かについては未確認であった。BJプロセスの歩留り決定におけるキープロセスはBJ選択成長前に行う活性層の選択ウエットエッチングであると考えられる。今回、2インチInP上にMOVPE成長した高均一エピ基板を用い、高均一なウエットエッチングが可能であることを確認した。さらに高均一なBJ選択成長、ドライエッチングメサ加工、MOVPE埋込成長技術を用いることにより、2インチ面内に均一な特性を有する上記SSC-LD作製できることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
板屋 義夫
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
岡本 稔
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
中尾 正史
Ntt 光エレクトロニクス研究所
-
岡本 浩
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
須崎 泰正
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
東盛 裕一
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
岡本 稔
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
近藤 康洋
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
門田 好晃
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
山本 〓夫
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
岸 健志
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
界 義久
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
杉江 利彦
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
板屋 義夫
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
杉江 利彦
NTT光ネットワークシステム研究所
-
東盛 裕一
Ntt フォトニクス研究所
-
山本 〓夫
Nttエレクトロニクス(株)
-
界 義久
NTTフォトニクス研究所
-
須崎 泰正
日本電信電話株式会社nttフォトニクス研究所
-
門田 好晃
Nttフォトニクス研究所:nttエレクトロニクス
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