Butt-Joint型選択成長スポットサイズ変換付き1.3μmLD

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概要

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半導体レーザのビーム放射角を狭搾化したスポットサイズ変換付きレーザは、レンズ系を使用せずにレーザと光ファイバ等との結合効率を向上させ、モジュール製造時のアライメント精度を緩和するのに有効であり、近年、活発に研究がすすめられている。これらのスポットサイズ変換部の構造は、選択成長を用いた導波路層厚制御による垂直方向のテーバ構造と、エッチングを用いた導波路幅制御による水平方向のテーパ構造とがある。特に、選択成長によるテーパ構造は、結晶成長により層厚が指数関数的に変化するテーパが容易に形成できる。ここでは、活性領域とスポットサイズ変換領域が独立に最適化できるButt-Joint成長と、選択成長を組み合わせた、スポットサイズ変換付きLDを提案し、良好な光出力特性、及びFFP(透視野像)を得ると共に、レンズを介さずにファイバと約1dBの低損失な結合が得られたので報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-03-27

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