A-34 半導体デバイス関連
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概要
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Recently, structural reliability is recognized as one of the most critical items in the development of semiconductor devices, whose integration density become higher. In this report, the structural design for the product processes and the market conditions was surveyed, and problems to be solved in microscopic were discussed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-03-29
著者
-
廣畑 賢治
(株)東芝
-
川上 崇
(株)東芝
-
向井 稔
東芝
-
高橋 浩之
東芝
-
川上 崇
東芝
-
泉 聡志
東大工
-
廣畑 賢治
東芝
-
廣畑 賢治
株式会社東芝研究開発センター
-
川村 法靖
東芝
-
泉 聡志
東大
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