研磨パッドにおける各種溝パターンがスラリーフローに及ぼす影響
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概要
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- 2012-06-01
著者
-
黒河 周平
九州大学大学院工学研究院
-
大西 修
九州大学大学院工学研究院
-
土肥 俊郎
埼玉大学教育学部
-
畝田 道雄
金沢工大
-
黒河 周平
九大
-
土肥 俊郎
九州大学大学院
-
山崎 努
九州大学大学院工学研究院
-
山崎 努
九大
-
黒河 周平
九大 大学院工学研究院
-
大西 修
九州大学大学院
-
山崎 努
九州大学大学院
-
会田 英雄
並木精密宝石(株)
-
黒河 周平
九州大学大学院
-
畝田 道雄
九州大学大学院
-
瀬下 清
九州大学大学院
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